英文名称：High-Resolution Micro-area Morphology and Composition Analyzer

型号及生产厂家：YB-300X，英铂科学仪器（上海）有限公司

功能简介： 微区高分辨形貌成分分析仪是一款将扫描电镜（SEM）成像与能谱（EDS）解析集成于台式平台的一体化分析设备。系统配备CeB₆灯丝，使用寿命优于3000小时；电子光学放大倍数最高达350,000倍，空间分辨率优于6 nm。支持2 kV、5 kV、10 kV、15 kV、20 kV等多档加速电压及4.8–20.5 kV连续可调；配备高真空与低真空双模式，可适应导电与非导电样品的不同观测需求。标配背散射探测器和能谱探测器。可同步获取样品表面高分辨形貌图像与微区元素组成信息，实现形貌观察与元素判定的同步表征。

放置地点：丁香楼 122室

仪器管理员：朱燕

联系方式：010-62836070 zyjyj@ibcas.ac.cn

分析项目及收费标准：

• 分析项目	所内收费标准	所外、横向收费标准
  样品扫描观察	100元/样	130元/样
  样品扫描观察及能谱检测	150元/样	185元/样
  样品喷金	100元/样	130元/样